3D-Rekonstruktion eines Kalibriernormals mit 20 nm. Die Messtechnikexperten Mahr und Nano Focus vertiefen ihre Zusammenarbeit mit einer neuen Produktlinie zur 3D-Oberflächenanalyse.
Foto: Mahr

optische Messgeräte

Neue Messtechnikserie zur 3D-Oberflächenanalyse

Mit neuen Produkten zur 3D-Oberflächenanalyse geht die Zusammenarbeit zwischen den Messtechnikspezialisten Mahr und Nano Focus weiter.

Mit einer neuen Produktlinie auf Basis der Weißlichtinterferometrie zur 3D-Oberflächenanalyse geht die Zusammenarbeit zwischen den Messtechnikspezialisten Mahr und Nano Focus weiter. Anfang 2021 wird die neue Produktlinie erscheinen. Hochauflösende 3D-Messdaten und maximaler Bedienkomfort – das verspricht Mahr mit einer neuen Weißlichtinterferometrie-Produktlinie. Anfang nächsten Jahres kommen die neuen Systeme auf den Markt, darunter auch automatisierbare Lösungen. Ihre neuartige Auswertetechnologie basiert auf Künstlicher Intelligenz (KI), wodurch sich höchste Genauigkeiten bei gesteigerter Robustheit erzielen lassen.

3D-Oberflächenanalyse auf Basis der Weißlichtinterferometrie

Die Systeme bieten eine Auflösung von bis zu 0,1 nm, was sie unter anderem für den Einsatz in der Fertigung von Halbleiterbauteilen oder optischen Komponenten prädestiniert. Kunden profitieren von der kompakten Bauform und der leichten, intuitiven Bedienbarkeit. Darüber hinaus nutzen die neuen Weißlichtinterferometer die bewährte Auswertesoftware Mountains for Mahr (MfM), mit der die Auswertung von 2D- und 3D-Parametern in wenigen Schritten erfolgt. Aber auch komplexe Analysen flächenhafter Merkmale – beispielsweise Isotropie, Volumen oder Schichtdicke – sind mit der Software MfM einfach möglich. 3D-Rekonstruktionen und überlagerte Reflexionsbilder stellen die Oberflächeneigenschaften anschaulich dar.

Ausbau des Messtechnik-Portfolios

„Die gemeinsame Software für konfokale Mikroskope und Weißlichtinterferometer machen den Vergleich und die Auswahl der besten Technologie denkbar einfach“, erklärt Manuel Hüsken, Geschäftsführer und CSO der Mahr GmbH. „Durch die neue Produktlinie baut Mahr konsequent das Portfolio mit optischen Messgeräten aus und positioniert sich technologieübergreifend als starker Lösungsanbieter in der Messtechnik.“

ak

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